GB/T 11446.9-1997 电子级水中微粒的仪器测试方法
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时间:2024-04-28 08:45:54
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基本信息
| 标准名称： | 电子级水中微粒的仪器测试方法 |
| 英文名称： | Test method for particles in electronic grade water by instrument |
| 中标分类： | 电子元器件与信息技术 >> 电子设备专用材料、零件、结构件 >> 电子技术专用材料 |
| ICS分类： | |
| 替代情况： | GB 11446.9-1989 |
| 发布部门： | 国家技术监督局 |
| 发布日期： | 1997-09-01 |
| 实施日期： | 1998-09-01 |
| 首发日期： | 1989-06-22 |
| 作废日期： | 1900-01-01 |
| 主管部门： | 信息产业部（电子） |
| 归口单位： | 信息产业部（电子） |
| 起草单位： | 中国科学院半导体研究所 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 1900-01-01 |
| 页数： | 2页 |
适用范围
本标准规定了电子级水中微粒的仪器测定方法。本标准适用于电子级水中微粒的连续式或单次检测计数，测定的粒径大于或等于0.5μm，微粒的浓度为(0～10 000)个/mL。
前言
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目录
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引用标准
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所属分类： 电子元器件与信息技术 电子设备专用材料 零件 结构件 电子技术专用材料
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