JB/T 2965-1992 溅射离子泵 性能测试方法
作者:标准资料网
时间:2024-05-05 19:23:00
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基本信息
标准名称: | 溅射离子泵 性能测试方法 |
中标分类: | 机械 >> 通用机械与设备 >> 真空技术与设备 |
替代情况: | JB 2965-81 |
发布部门: | 沈阳真空技术研究所 |
发布日期: | 1992-01-01 |
实施日期: | 1992-01-01 |
首发日期: | 1900-01-01 |
作废日期: | 1900-01-01 |
归口单位: | 沈阳真空技术研究所 |
出版日期: | 1900-01-01 |
页数: | 6 页 |
批文号: | 机电科标[1992]2135号 |
适用范围
本标准规定了溅射离子泵性能测试方法。 本标准适用于抽速大于10Ls(-1)的离子泵。
前言
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目录
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引用标准
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所属分类: 机械 通用机械与设备 真空技术与设备
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